ISB Clean Room

크린룸을 위한 볼트랜스퍼는 반도체나 PFD (액정. PDP.유기 EL등)
의 제조라인에서 종래와는 다른방법을 제공하기 위해 개발된
기능 부품입니다.

크린룸내에서 사용되는 볼트랜스퍼는 고객의 생각이나 사용방법에
따라 사용하중이 다르기 때문에 종래의 볼트랜스퍼의 개념만으로는
사용할 수 가 없습니다.

작업을 수평방향 360도 자유자재로 위치를 결정할 수 있는
볼트랜스퍼의 특징을 최대한 이용할 수 있도록 하기위해
사용자의 입장에서 제품개발을 꾀함과 동시에 새로운 가능성을
제공하고 있습니다.

⊙ 슬라이드 방식에 비해 장기적으로 안정된 저마찰저항으로 유리기판의 얼라이먼트가
    가능하게 됨에 따라 유리의 균열이 감소  
⊙ 부드러운 움직임에 의한 위치결정의 정밀도 향상
⊙ 마찰 때문에 필요로 하는 접촉부 재질의 교체 작업이 큰 폭으로 감소
⊙ 재빠른 움직임을 따라감으로서 제조사이클의 단축도 가능

크린룸에서의 사용이 크게 기대되는 제품의 등장

1) 볼트랜스퍼 ISC시리즈

ISB 크린룸을 위한 볼트랜스퍼를 개발하게 된 계기는
판널제조업체로부터의 의뢰였습니다. 유리기판을 지탱하는 접촉부 재료로서
볼트랜스퍼을 채용함에 따라 현장의 핀 방식에 의한 얼라리먼트의 몇십배나 되는 경량으로 
얼라이먼트가 가능하게 되었습니다.

최근 LCD는 점점 더 대형화 되가고 수지접촉부재질의 위를 미끄러지게 하는
종래의 위치결정 방법으로는 여러 가지 문제가 발생합니다. 이것에 대해 마찰저항치가
슬라이드에 비해 약 1/10의 볼트랜스퍼을 사용함으로서 몇 가지의 효율성 있습니다.

특히 FPD용 유리기판의 위치결정용으로 개발한 볼베어링 ISC시리즈는 다음과 같은 특징이 있습니다.
⊙ 유리기판에 흠집을 내지 않는 고기능수지재료(듀퐁TM베스펠)로 메인볼 및 작은볼, 몸체바디, 캡(Cap)에 적용
   ※ 듀퐁 TM 베스펠은 미국 듀퐁사의 등록상표이다.
⊙ PEEK등의 각종 엔지니어링플라스틱을 적용,사용자의 요구에 따라 재질을 선택하는 타입을 새롭게 LINE-UP
⊙ 세세한 Particle의 발생을 억제하는 고정밀도재질과 조립방식
⊙ 종래에는 없었던 부품별 탈지세정에 의한 CLEAN-PACK의 표준화
⊙ 통상 환경은 물론, 2000℃이상의 고온환경, 진공장비내, 빛의 반사를 싫어하는 광학측정 기기등 각종 용도에 따라 특수제품도 대응가능.

2) 위치결정 스테이지 ILS시리즈

각 공정에 있어서 CASSETTE STATION의 유리반송용 카세트를 심플하게 위치를 지정하기 위한
스테이션 유닛.
미끄러지듯이 모든 방향으로 이동함으로써 미묘한 위치결정을 단시간에 완료.
무부하 시에는 항상 원점으로 복귀해 다음 카세트를 기다립니다. 유리기판의 대형화에 따른
카세트사이즈도 커지고 있습니다. ILS시리즈는 이와 같은 시장의 요구에 대응하기 위해 종래보다도
컴팩트화를 꾀하고 무거운 하중에 견딜수 있는 유니트로서 제품화를 시행하고 있습니다.
또 가중부를 HOLD시킬수 있는 타입도 준비하고 있습니다. 더욱이 복합적인 움직임에도
대응할 수 있는 유닛의 투입에 의해 시스템화 구축의 일익을 맡고 있습니다.

3) 에어볼 LIFTER ISR-C 시리즈

종래의 에어볼 리프터를 기초로 크린화를 추진. 각종 반도체, FPD제조장치 내부에서의
위치결정이나 범용지구 및 크린룸내에 있어서 각종 중량 유닛의 반송.
위치결정 시스템의 폭넓은 요구에 대응할 수 있는 유닛입니다.
보다 까다로운 사용자의 요구에도 대응하는 특별사양도 제작합니다.

ISC시리즈의 기본성능

크린룸내에서 사용되는 볼트랜스퍼는 고객의 생각이나 사용방법에 따라,
재료나 사용하중이 다르기 때문에 종래의 볼트랜스퍼의 개념만으로는
사용이 불가능합니다. 반도체나 FPD제조장치에서 볼트랜스퍼의 이점을 활용하기 위한 
기준으로서 유리기판의 얼라이먼트를 상정하여 사내실험을 하였습니다.

크린룸을 위한 볼베어링의 사용예

LCD용 검사장치에 적용되는 ISC시리즈 볼베어링
대형 유리기판을 필요로 하는 LCD제조의 앞공정. CELL.MODULE등의 뒷공정. PDP. 유기EL. FED.SED등, 각종 FPD제조의 유리기판
alignment용으로 지금까지 없었던 방식을 제공하는 기능부품으로서 판넬메이커. 장치메이커의 채용실적이 급증하고 있습니다.